超纯水电阻率异常诊断、处置动作和批次追溯记录。 回路编号、采样点、阻值趋势、关联参数、处置动作、复验结论。
半导体厂务：超纯水电阻率异常诊断、处置动作和批次追溯记录。
先确认这张表对应的部位、批次、楼层和验收边界，再开始填写，避免后面资料和现场对象脱节。
涉及编号、样品、测值、整改或签字流转时，先统一口径，再把记录补齐。
涉及数量、面积、损耗、坡度、工期或整改时先用工具统一口径。
| 基本信息 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 工程名称 | 标段/分区 | ||||||
| 系统/部位 | 检查日期 | ||||||
| 施工/运维单位 | 监理单位 | ||||||
| 检查人 | 复核人 | ||||||
| 检查项目 | |||||||
| 检查项 | 标准要求 | 现场结果 | 备注 | ||||
| 关键项1 | 核对关键采样点在线仪表校准状态 | ||||||
| 关键项2 | 排查抛光树脂、TOC和温控波动关联 | ||||||
| 关键项3 | 检查旁路阀位和回流切换记录 | ||||||
| 关键项4 | 复验后锁定报警阈值与换料策略 | ||||||
| 问题闭环 | |||||||
| 问题类型 | 问题描述 | 整改措施 | 复验结论 | 责任人 | |||
| 常见偏差1 | 只关注单点不看全环路趋势 | ||||||
| 常见偏差2 | 树脂更换后未复核冲洗稳定性 | ||||||
| 常见偏差3 | 报警复位后未做批次追溯 | ||||||
| 结论 | |||||||
| 检查结论 | 是否满足要求 | ||||||
| 遗留问题 | 复查日期 | ||||||
| 签字 | |||||||
| 施工/运维单位 签字 / 日期 | 监理单位 签字 / 日期 | 建设/业主单位 签字 / 日期 | 责任班组 签字 / 日期 | ||||
| 基本信息 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 工程名称 | 华东半导体厂洁净厂房五期 | 标段/分区 | 超纯水站 3#系统 | ||||
| 系统/部位 | UPW 三级回路 | 检查日期 | 2026-05-26 | ||||
| 施工/运维单位 | 华东洁净工程运维班 | 监理单位 | 工艺技术监督组 | ||||
| 检查人 | 宋工 / 14:00 | 复核人 | 李师傅 / 16:20 | ||||
| 检查项目 | |||||||
| 检查项 | 标准要求 | 现场结果 | 备注 | ||||
| 关键项1 | 采样点 O1/O2/O3 在线电阻率对比 | 0.8~1.1 MΩ·cm | 2 小时内回升到 1.2，偏差已纠正 | ||||
| 关键项2 | 树脂切换策略与 TOC 记录一致性 | 存在 1 次无记录切换 | 补充切换审批后闭合 | ||||
| 关键项3 | 回流切换阀位与主线压差变化 | 与工艺记录偏差 <3% | 继续观察并复核曲线 | ||||
| 关键项4 | 复验报警阈值与批次追溯 | 阈值已更新为 0.9 | 新增批次追溯表单 | ||||
| 问题闭环 | |||||||
| 问题类型 | 问题描述 | 整改措施 | 复验结论 | 责任人 | |||
| 常见偏差1 | 初始只看单点瞬时值 | 补采 6 路趋势曲线并复核 2 小时 | 完成复验 | 设备维修组 | |||
| 结论 | |||||||
| 检查结论 | 超纯水电阻率短时骤降已找源闭环，系统状态可恢复。 | 是否满足要求 | 待复验后满足 | ||||
| 遗留问题 | 补充 2 组未授权切换批次的日志解释 | 复查日期 | 2026-05-27 | ||||
| 签字 | |||||||
| 施工/运维单位 宋工 / 2026-05-26 | 监理单位 工艺监管员 / 2026-05-26 | 建设/业主单位 厂务主管 / 2026-05-27 | 责任班组 UPW 运行组 / 2026-05-27 | ||||
超纯水电阻率异常诊断、处置动作和批次追溯记录。
从表格反查规范口径，填表前先算量，填完后进入日志或整改闭合。
填表前确认对应规范、检查点和验收边界。
涉及数量、面积、损耗、坡度、工期或整改时先用工具统一口径。
对应文章用于确认现场检查动作、照片留痕和常见错误。
填完模板后同步施工日志，问题项进入整改闭合。