适用场景
超纯水环路短时电阻率骤降，影响湿法工艺窗口并触发批次隔离。
本页是现场执行清单和资料口径，不替代正式规范文本。需要引用条文时，应回到项目适用版本核对。
主要依据
- GB/T 11446.1-2013 电子级水
- GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范
现场检查清单
- 核对关键采样点在线仪表校准状态
- 排查抛光树脂、TOC和温控波动关联
- 检查旁路阀位和回流切换记录
- 复验后锁定报警阈值与换料策略
执行建议
- 按系统、分区和编号组织试验记录，不只拍局部照片
- 压力、通水、通球、坡度等结果要和图纸系统对应
- 隐蔽前确认接口、支吊架和穿楼板节点
- 先确认项目采用的规范版本、图纸版本和专项方案口径
- 检查结果写到同一条记录里，避免照片、表格和台账分散
- 发现不合格项时先明确责任人、完成期限和复查人
资料留痕
系统分区图或编号压力表、通水或坡度照片试验起止时间和结果检查日期、检查人和参与单位问题部位、范围和照片编号整改要求、责任人、期限和复查结论
配套资料模板
常见误区
- 只关注单点不看全环路趋势
- 树脂更换后未复核冲洗稳定性
- 报警复位后未做批次追溯